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1分(fēn)鐘停機造成的損失,電壓暫降對半導體(tǐ)制造有哪些(知他xiē)危害?

發布時(shí)間(jiān):2021-09-02  資都浏覽:3906

1分(fēn)鐘停機造成的損失,電壓暫降對半導議科體(tǐ)制造有哪些(xiē)危害?

随着IT技術、自動化(huà)技術以及電水見力電子(zǐ)技術的發展,工廠生(shēng)産自動畫麗化(huà)程度逐漸提高,生(shēng)産設備對電壓暫降問土這題變得越來(lái)越敏感,對電能(néng)質量的要求也(yě)進一(y媽錢ī)步提高。

而在生(shēng)産過程中出現(xiàn)的電好匠壓暫降等問題,對連續性生(shēng)産要求高的用戶造成了(l日房e)重大的經濟損失,并逐漸引起電力部門和行通也業用戶的高度重視(shì)。

電壓暫降又稱電壓跌落、電壓驟降、電壓凹陷、晃電等。是電壓有效值在短時(shí)筆行間(jiān)内突然下(xià)降又回升的現(xià玩對n)象。國标GB/T    說些;    30137為(wèi生新)暫降幅值:90%-1%,短時(shí)中斷:答快<1% 持續時(shí)間(jiān):10ms-1min著樹。

電壓暫降的原因有很多,主要有:雷擊、短路(lù)故障、大電機到民啟動,這(zhè)些(xiē)原因發生(shēng)頻次高、且有不易察覺等為空特征。

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 圖注:電壓暫降産生(shēng)的年光主要原因

由于電網環境的複雜性,所以目前電壓暫降是電網運行過程中客觀存街東在且不可避免的現(xiàn)象,國内某封測企業2019年發生會什(shēng)暫降11次,損失達200餘萬元。美國電力研究院舞文(EPRI)分(fēn)析,工業客戶平均每年經曆66電壓暫降問題。 

      &n看資bsp;電壓暫降是影響半導體(tǐ)行業生(shēng)産損失最嚴重、危害最大的電能(nén場購g)質量問題。除此之外常見的電能(néng)質量問題包括:“功率因數諧波三相不平衡”。

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半導體(tǐ)行業屬于連續性生(shēng)産制程,一(yī)旦由于爸金供電質量造成生(shēng)産暫停需要耗費極大的停工成本,比如(rú)核林地心生(shēng)産機台(光刻機)暖機就(jiù)需耗費 &nb花睡sp;      24 小時(sh線物í)。

半導體(tǐ)制造過程中,微小的粉塵都可能(néng)造成晶體(tǐ)管在雜短路(lù)燒毀,在濺射鍍膜等部分(fēn)制程甚至需維持真空,一(事煙yī)旦出現(xiàn)供電質量問題導緻機台設備宕機、制程中止,就(靜冷jiù)會造成廢料、設備損壞、甚至停産等嚴重事(shì)故發生(s器們hēng)。       

一(yī)些(xiē)高精密生(shēng)産機台設備,如(費但rú):刻蝕、氣相沉積、光刻、加熱、清洗、測量儀快務器(qì)、自動檢測等設備也(yě)很容易受供電質開門量的影響。

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據統計,半導體(tǐ)行業每一(yī)次停機事(shì)故所造成的直接草白和間(jiān)接經濟損失可高達上(shàng)億元。為(wèi)防止電壓中斷和電壓暫降等供電質量問題造成半導體(tǐ)生(sh話廠ēng)産設備宕機,就(jiù)必須在機台設備輸入前端配置供花資電質量保障設備。       

按照國标GB50809《矽集成電路(lù)芯片工廠設計規範》和GB家村51136《薄膜晶體(tǐ)管液晶顯示器(qì)工廠設計規範》她商要求,半導體(tǐ)工廠必須配置防電壓暫降設備,以醫討防止電壓暫降對生(shēng)産機台設備的影響。她和       但費;  

各類電能(néng)管理(lǐ)方案對比北廠,VDC方案能(néng)否全面替代UPS?

作(zuò)為(wèi)國内電壓暫降保護領域的代表費鐵廠商(shāng),深圳市(shì)科雷特能(néng)源科技股份有限什計公司(以下(xià)簡稱科雷特)半導體(tǐ)事黑的(shì)業部劉總監近日在第三屆深圳國際半導體(tǐ)5G應用展上(到風shàng)接受了(le)媒體(tǐ)的采訪。

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劉總監談到,因為(wèi)半導體(tǐ)、顯示制造企業對生(s煙西hēng)産連續性要求特别高,因此此次參加第三屆深知船圳國際半導體(tǐ)5G應用展的主要目的,就(jiù)是為(wèi)了(l視上e)進一(yī)步推廣企業産品,提高知名度,同時(shí)希望能(néng)為離街(wèi)半導體(tǐ)、顯示企業提供技術與服務音林(wù)。    &n藍從bsp;    

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圖注:GRT-VDC電壓暫降保護系統

目前市(shì)面上(shàng)電壓暫降保護方案主要有三種類型,分件讀(fēn)别是:UPS、IUPS、電壓暫降保護裝置。而厭謝主要客戶涵蓋各類需要大量用電,且對連續用電和電能(néng)質量也嗎有高度要求的企業,如(rú)半導體(tǐ)、電子(亮睡zǐ)電器(qì)、汽車制造、食品醫(yī)療、公共設施等廠購。此外,房(fáng)地産、工業均有成功案例。

VDC的保護方案應用比較靈活,優點是維護工作(zuò)量低(d分報ī),保護範圍廣,保護時(shí)間(j長唱iān)可定制,環境适應性強,占地小,可靠近終端設備擺放(fàng),且超級讀畫電容效率大于99%,使用壽命長。

在配電房(fáng)裝配,也(yě)可以單獨亮火針對要保護的設備,如(rú)光刻機、蝕刻機等單獨配置。當然,VD通費C也(yě)無法完全取代UPS。VDC的缺點是初始投志這資成本較高,因為(wèi)是隻處理(lǐ)電壓暫降保護的情況,同時(shí)算短保護時(shí)間(jiān)較短。如(rú電算)果需要保護的時(shí)間(jiān)超過1分(fēn)鐘,一(y費醫ī)般還是采用UPS或IUPS。 

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圖注:GRT-IUPS智慧節能(néng)型後備電煙跳源

       UPS的不足是能(民哥néng)耗較高,運維成本高、電池更換費用高,且每個(gè)星期要充放(fà們會ng)電一(yī)次,很多時(shí)候UPS的能(néng)耗成本會光做達到整體(tǐ)設備能(néng)耗的8~9%,工業級的可能(né志著ng)達到10%。   女刀;      

“我們進行過測算(suàn),采用科雷特的iUPS設備能(néng)耗暗農是1%,如(rú)果以産品使用10年周期計算(suàn)的話(好匠huà),性價比高,整體(tǐ)設備及損耗的黑睡費用可做到UPS的28%,可以說(shuō)是一(yī)個(gè)巨大的成本節約女廠。”

國産化(huà)帶來(lái)新(xīn)利好(地議hǎo)(hǎo),半導體(tǐ)供電保護需求爆發進行時(弟費shí)

 “簡單的說(shuō),不管你是哪個(也算gè)行業,隻要對用電連續性有高要求的企業。不有飛管是VDC、iUPS(斷電+壓降保護)都可以用起鐵錯來(lái)。” 

目前顯示面闆領域的華星光電、京東方、天馬微,以及半導體(tǐ)晶圓微會制造領域的中芯國際、華虹,還有封測領域的安博、化(hu南什à)學品清洗材料領域的新(xīn)宙邦等都跟科雷特有合作(zuò),此醫多外科雷特也(yě)為(wèi)華為(wèi)和代工廠的SMT生(shē什金ng)産線提供過壓降保護方案。    劉總監也(yě)提到亮西近年來(lái)國産半導體(tǐ)設備廠商線動(shāng)進步很快(kuài),如(rú)中微半導體(tǐ關南)、北方華創等。國産半導體(tǐ)設備的崛起也(yě)帶動了(le)科雷特新影等周邊配套供應商(shāng)一(yī)起進入各大晶圓廠的供應鍊花銀,産生(shēng)集聚效應。此外,目前國内半導體(tǐ)生(林體shēng)産開始要求達到一(yī)定的國産化(huà)率中下,這(zhè)對于國産供電設備供應商(shāng)是一(yī)大個些利好(hǎo)(hǎo)。

“在半導體(tǐ)領域相比同行,我們還算(suàn)是比湖民較新(xīn)的公司。”    市制;    盡管如(r筆開ú)此,科雷特始終以用戶需求出發、提供全面周到海船的用戶支持服務(wù)。 

相信随着2021年各大晶圓廠繼續擴充産能(néng),未來(lá山湖i)深圳科雷特将在半導體(tǐ)設備領域迎來家購(lái)豐收!